Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники. Учеб. пособие
Год издания: 1988
Автор: Сазонов А.А., Корнилов Р.В., Кохан Н.П. и др.
Издательство: М.: Радио и связь
ISBN: 5-256-00143-4
Язык: Русский
Формат: PDF/DjVu
Качество: Отсканированные страницы
Количество страниц: 264
Описание: Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием. Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.
Для студентов вузов приборостроительных специальностей.
