Травление полупроводников
Год издания: 1965
Автор: Горин С.Н. (ред.)
Переводчик: Пер. с англ. Горин С.Н.
Издательство: Мир
Язык: Русский
Формат: DjVu
Качество: Отсканированные страницы + слой распознанного текста
Количество страниц: 382
Описание: В книгу включен ряд обзоров и оригинальных статей по травлению важнейших полупроводниковых материалов: германия, кремния, соединений типа AIIIBV, AIIBVI и некоторых других.
Подробно рассматриваются вопросы кинетики поверхностных реакций и образования поверхностного микрорельефа, выявления неоднородностей в распределении примесей (p-n-переходов и др.), обнаружения дислокаций и других структурных несовершенств, а также определения кристаллографической ориентации. Рассматриваются методы нанесения электродов и контролируемого удаления материала, обеспечения воспроизводимых электрических свойств на улучшения электрических характеристик приборов и приводятся многочисленные рецепты травителей.
Книга рассчитана на инженеров и научных работников, занимающихся получением полупроводниковых материалов и разработкой разнообразных полупроводниковых приборов. Кроме того, она окажет большую пользу всем, кому приходится иметь дело с исследованием электрофизических, структурных и других свойств полупроводников.
Книга может служить также учебным и справочным пособием для преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений, специализирующихся в области физики и технологии полупроводников, приборостроения, связи и др.
