Эллипсометрия - метод исследования поверхности. Сборник статей
Год издания: 1983
Автор: Ржанов А.В. (отв. ред.)
Издательство: Наука, Сиб. отд-ние
Язык: Русский
Формат: DjVu
Качество: Отсканированные страницы
Количество страниц: 180
Описание: Сборник объединяет работы участников II Всесоюзной конференции "Эллипсометрия - метод исследования физико-химических процессов на поверхности твердых тел", которая проходила 29 июня-1 июля 1981 г. в Новосибирске. Освещается широкий круг вопросов, таких как математическая обработка результатов эллипсометрических измерений, определение оптических характеристик материалов, применение эллипсометрии в физико-химических исследованиях, в полупроводниковой и оптической технологии, создание новых типов эллипсометров п автоматизированных эллипсометрических систем, способных давать уникальную информацию о состоянии поверхности и структуре тонких пленок.
Книга представляет интерес для ученых и инженеров-технологов, работающих в области физики и физической химии поверхности, полупроводниковой микроэлектроники и оптики тонких пленок.
