Оборудование производства интегральных микросхем и промышленные роботы: Учебник для техникумов
Год издания: 1988
Автор: Панфилов Ю.В., Рябов В.Т., Цветков Ю.Б.
Издательство: М.: Радио и связь
ISBN: 5-256-00062-4
Язык: Русский
Формат: PDF/DjVu
Качество: Отсканированные страницы
Количество страниц: 320
Описание: Изложены конструкции и принцип действия современного оборудования для производства интегральных микросхем (ИС), основы робототехники и гибких автоматизированных систем. Описаны принципы построения и вопросы эксплуатации промышленных роботов, систем управления с использованием ЭВМ и микропроцессоров. Приведены материалы по анализу конструкции сборочного, химико-технологического, фото,-рентгено, электронно-литографического оборудования.
Для учащихся техникумов.
